L'analizzatore di spettroscopia infrarossa in trasformata di Fourier (FTIR) viene utilizzato nell'industria manifatturiera dei semiconduttori. FTIR è uno strumento di analisi spettrale che utilizza la spettroscopia infrarossa per analizzare la concentrazione di impurità attraverso la trasformata di Fourier. Lo spettrometro è costituito principalmente da una sorgente luminosa (asta di silicio-carbonio, lampada al mercurio ad alta pressione), interferometro di Michelson, rilevatore e interferometro
La luce infrarossa emessa dalla sorgente di luce infrarossa S viene collimata in un raggio infrarosso parallelo ed entra nel sistema di interferenza. Dopo la regolazione con l'interferometro si ottiene un fascio di luce interferente. La luce di interferenza passa attraverso il campione Sa per ottenere un segnale di interferenza contenente informazioni spettrali, che raggiunge il rilevatore D e viene quindi convertito in un segnale elettrico da D. Il segnale di interferenza in questo caso è una funzione temporale, che è lo schema di interferenza disegnato dal segnale di interferenza e il suo asse orizzontale è il tempo di spostamento o la distanza dello specchio mobile. Questo modello di interferenza viene inviato al computer tramite un convertitore A/D e il computer esegue rapidi calcoli di trasformata di Fourier per ottenere uno spettro infrarosso con il numero d'onda come asse orizzontale. Quindi viene inviato a un plotter attraverso un convertitore D/A per disegnare uno spettro di assorbimento infrarosso standard molto familiare.
